主编推荐语
本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构,进而实现硅基MEMS芯片的批量制造,系统介绍了硅基MEMS芯片制造技术。
内容简介
MEMS技术是一种使产品集成化、微型化、智能化的微型机电系统。在半导体集成电路技术之上发展起来的硅基MEMS制造技术目前使用十分广泛。 随着MEMS技术的不断成熟和全面走向应用,MEMS芯片的量产问题变得越来越重要。显然MEMS芯片的量产必须在集成电路生产线上进行,但是MEMS芯片制造与集成电路制造相比有明显不同,这使得集成电路生产线在转型制造MEMS芯片时会遇到一些特殊的工艺问题。 由于MEMS涉及学科较多,为了让不同学科背景的人能够快速读懂本书,本书先对MEMS的来龙去脉及MEMS出现的原因进行了简单介绍,然后详细介绍了相关内容,尽量做到通俗易懂。希望读者通过本书能全面了解硅基MEMS芯片制造技术,为从事与MEMS相关的工作打下基础。
出版方
电子工业出版社