
主编推荐语
本书给出了100种典型CMOS芯片结构,介绍了各种典型制造技术,并描绘出50种制程剖面结构。
内容简介
本书从CMOS芯片结构技术出发,系统地介绍了微米、亚微米、深亚微米及纳米CMOS制造技术,内容包括单阱CMOS、双阱CMOS、LV/HV兼容CMOS、BiCMOS、LV/HV兼容BiCMOS,以及LV/HV兼容BCD制造技术。 全书各章都采用由CMOS芯片主要元器件、制造技术及主要参数所组成的综合表,从芯片结构出发,利用计算机和它所提供的软件,描绘出芯片制造的各工序剖面结构,从而得到制程剖面结构。
出版方
电子工业出版社